Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 6.— 2003.— с. 121-124
Autor principal:	Строкань Г. П.
Idioma:	rus
Publicat:	2003
Col·lecció:	Лабораторная техника
Matèries:	тонкие плёнки напыление плёнок распыление материалов способы распыления высокочастотный разряд
Format:	MixedMaterials Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427227

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	427227
005	20231101074628.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86351
035			\|a RU\TPU\prd\22199
090			\|a 427227
100			\|a 20100906a2003 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде \|f Г. П. Строкань
225	1		\|a Лабораторная техника
320			\|a Библиогр.: 17 назв.
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300 \|x 0032-8162 \|t Приборы и техника эксперимента \|f Российская академия наук \|d 1956-
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86332 \|t № 6 \|v с. 121-124 \|d 2003
610	1		\|a тонкие плёнки
610	1		\|a напыление плёнок
610	1		\|a распыление материалов
610	1		\|a способы распыления
610	1		\|a высокочастотный разряд
675			\|a 621.387 \|v 3
675			\|a 621.030.6 \|v 3
675			\|a 537.226.4 \|v 3
700		1	\|a Строкань \|b Г. П.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20040203 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20100906 \|g PSBO
942			\|c BK