Простая технология изготовления теневых масок, используемых для изготовления микроструктур; Приборы и техника эксперимента; № 3

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 3.— 2003.— с. 135-137
Autor principal:	Coskun C.
Outros Autores:	Efeoglu H.
Idioma:	russo
Publicado em:	2003
coleção:	Лабораторная техника
Assuntos:	технологии теневые маски изготовление микроструктуры электрические измерения нанесение контактов
Formato:	Capítulo de Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427194

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	427194
005	20231101074627.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86318
035			\|a RU\TPU\prd\17124
090			\|a 427194
100			\|a 20100903a2003 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Простая технология изготовления теневых масок, используемых для изготовления микроструктур \|f C. Coskun, H. Efeoglu
225	1		\|a Лабораторная техника
320			\|a Библиогр.: 4 назв.
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300 \|x 0032-8162 \|t Приборы и техника эксперимента \|f Российская академия наук \|d 1956-
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86298 \|t № 3 \|v с. 135-137 \|d 2003
610	1		\|a технологии
610	1		\|a теневые маски
610	1		\|a изготовление
610	1		\|a микроструктуры
610	1		\|a электрические измерения
610	1		\|a нанесение контактов
700		1	\|a Coskun \|b C.
701		1	\|a Efeoglu \|b H.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20030909 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20100906 \|g RCR
942			\|c BK