|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
427193 |
| 005 |
20231101074627.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86317
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\17123
|
| 090 |
|
|
|a 427193
|
| 100 |
|
|
|a 20100903a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Метод оценки толщины ультратонких плёнок
|f А. И. Стогний, Н. Н. Новицкий, О. М. Стукалов
|
| 225 |
1 |
|
|a Лабораторная техника
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 10 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300
|x 0032-8162
|t Приборы и техника эксперимента
|f Российская академия наук
|d 1956-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86298
|t № 3
|v с. 131-134
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a ультратонкие плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a методы оценки
|
| 610 |
1 |
|
|a толщина
|
| 610 |
1 |
|
|a атомно-силовые микроскопы
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.18:539.23.533.915
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Стогний
|b А. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Новицкий
|b Н. Н.
|
| 701 |
|
1 |
|a Стукалов
|b О. М.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030909
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100906
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
