|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
427187 |
| 005 |
20231101074627.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86311
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\17117
|
| 090 |
|
|
|a 427187
|
| 100 |
|
|
|a 20100903a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Гетератор объёмной плазмы на основе разряда с плазменным катодом
|f А. В. Визирь, Е. М. Окс, М. В. Шандриков, Г. Ю. Юшков
|
| 225 |
1 |
|
|a Общая экспериментальная техника
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 6 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300
|x 0032-8162
|t Приборы и техника эксперимента
|f Российская академия наук
|d 1956-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86298
|t № 3
|v с. 108-111
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a генераторы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a объёмная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные катоды
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка изделий
|
| 610 |
1 |
|
|a схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a генераторы плазмы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные системы
|
| 675 |
|
|
|a 621.384
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Визирь
|b А. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Окс
|b Е. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шандриков
|b М. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Юшков
|b Г. Ю.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030909
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100906
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
