|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
427172 |
| 005 |
20231101074626.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86296
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\13299
|
| 090 |
|
|
|a 427172
|
| 100 |
|
|
|a 20100903a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Компактный многоканальный спектроэллипсометр лдля EX SITU и IN SITU измерений
|f В. И. Ковалёв, А. И. Руковишников
|
| 225 |
1 |
|
|a Приборы, изготовленные в лабораториях
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 3 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300
|x 0032-8162
|t Приборы и техника эксперимента
|f Российская академия наук
|d 1956-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86261
|t № 2
|v с. 164-165
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a спектроэллипсометры
|
| 610 |
1 |
|
|a измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a полязизация
|
| 610 |
1 |
|
|a бинарная модуляция
|
| 675 |
|
|
|a 681.785.35
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Ковалёв
|b В. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Руковишников
|b А. И.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030505
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100903
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
