Ковалёв В. И. & Руковишников А. И. (2003). Компактный многоканальный спектроэллипсометр лдля EX SITU и IN SITU измерений. 2003.
Style de citation Chicago (17e éd.)Ковалёв В. И. et Руковишников А. И. Компактный многоканальный спектроэллипсометр лдля EX SITU и IN SITU измерений. 2003, 2003.
Style de citation MLA (9e éd.)Ковалёв В. И. et Руковишников А. И. Компактный многоканальный спектроэллипсометр лдля EX SITU и IN SITU измерений. 2003, 2003.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.