Ковалёв В. И. & Руковишников А. И. (2003). Компактный многоканальный спектроэллипсометр лдля EX SITU и IN SITU измерений. 2003.
Chicago Style (17th ed.) CitationКовалёв В. И. and Руковишников А. И. Компактный многоканальный спектроэллипсометр лдля EX SITU и IN SITU измерений. 2003, 2003.
MLA (9th ed.) CitationКовалёв В. И. and Руковишников А. И. Компактный многоканальный спектроэллипсометр лдля EX SITU и IN SITU измерений. 2003, 2003.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.