Ковалев В. И. & Руковишников А. И. (2003). Импульсный двухканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации. 2003.
Chicago Style (17th ed.) CitationКовалев В. И. and Руковишников А. И. Импульсный двухканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации. 2003, 2003.
MLA (9th ed.) CitationКовалев В. И. and Руковишников А. И. Импульсный двухканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации. 2003, 2003.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.