|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
427128 |
| 005 |
20231101074625.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86252
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\11760
|
| 090 |
|
|
|a 427128
|
| 100 |
|
|
|a 20100903a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления
|f А. Г. Нагорный, С. В. Колинько
|
| 225 |
1 |
|
|a Лабораторная техника
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 6 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300
|x 0032-8162
|t Приборы и техника эксперимента
|f Российская академия наук
|d 1956-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86220
|t № 1
|v с. 144-148
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a измерения мощности
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотное ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a датчики
|
| 675 |
|
|
|a 621.317
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Нагорный
|b А. Г.
|
| 701 |
|
1 |
|a Колинько
|b С. В.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030321
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100903
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
