Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек; Атомная энергия; Т. 95, вып. 5

Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек

Bibliographic Details
Parent link:	Атомная энергия: теоретический и научно-технический журнал/ Российская академия наук ; Министерство РФ по атомной энергии, ядерного общества.— , 1956-.— 0004-7163 Т. 95, вып. 5.— 2003.— с. 359-363
Other Authors:	Суворов А. Л., Графутин В. И., Проркопьев Е. П., Тимошенков С. П., Калугин В.В.
Language:	Russian
Published:	2003
Series:	Статьи
Subjects:	химическая обработка изоляторы поверхности структуры кремния подложки сращивание очистка
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=425991

Similar Items

Изменение краевого угла капли при растекании по поверхностям стальных подложек; XXXI Сибирский теплофизический семинар
by: Орлова Е. Г. Евгения Георгиевна
Published: (2015)

Влияние предварительной обработки поверхности стальных подложек на адгезионную прочность и плотность газотермических покрытий из никельхромового сплава ПГСР-4; Высокие технологии в современной науке и технике
by: Пухова И. В.
Published: (2014)

Исследование смачиваемости модельных подложек; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Чебодаева В. В. Валентина Вадимовна
Published: (2013)

Experimental investigation of consecutive water droplets falling down through high-temperature gas zone; International Journal of Heat and Mass Transfer; Vol. 95
Published: (2016)

Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
by: Полтавцев Ю. Г. Юрий Гаврилович
Published: (Киев, Тэхника, 1990)

Разработка методологии контроля чистоты сапфировых подложек для изготовления гетеротранзисторов и оптоэлектронных приборов на основе нитрида галлия; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий
by: Гурская А. А.
Published: (2004)

Исследование смачиваемости модельных подложек; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Чебодаева В. В. Валентина Вадимовна
Published: (2013)

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке: полезная модель
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: ()

Нанотехнологии в микроэлектронике
Published: (Москва, Наука, 2019)

Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом: Отчет о НИР; Тема : № х/д № 113/67
Published: (Томск, 1970)

Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
Published: (Новосибирск, [Б. и.], 1973)

Технология керамических подложек из нитрида алюминия; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Тюменцев А. А.
Published: (2012)

Импульсная аэродинамическая очистка поверхностей в химической технологии
Published: (Алма-Ата, Гылым, 1990)

Переработка подложек из корундовой керамики с металлизацией из вольфрама и гальваническим никелированием; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Жирников И. Д.
Published: (2024)

Технология получения керамических подложек из нитрида алюминия методом литья; Перспективы развития фундаментальных наук
Published: (2012)

Неразрушающий метод локального измерения диэлектрических потерь подложек интегральных схем на СВЧ; Дефектоскопия; № 8
by: Дувинг В. Г.
Published: (2005)

Исследование распределения потенциалов по поверхности опорных и стержневых изоляторов; Электротехника, электромеханика и электротехнологии
by: Ким Д. Б.
Published: (2002)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Published: ()

Interfacial Adhesion between Thermal Spray Coating and Substrate Achieved by Ultrasonic Finishing; Applied Mechanics and Materials; Vol. 682 : Innovation Technology and Economics in Engineering
by: Kovalevskaya Zh. G. Zhanna Gennadievna
Published: (2014)

Анализ подложек для гигантской спектроскопии комбинационного рассеяния, изготовленных методом электрохимического восстановления; Современные материалы и технологии новых поколений
Published: (2019)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Антиферромагнитные топологические изоляторы MnBi[2]Te[2]Se[2] и VBi[2]Te[2]Se[2]; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Петров Е. К.
Published: (2018)

Получение корундовых подложек для электроники методом пленочного литья; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Грехова М. В.
Published: (2011)

Experimental research into collisions of homogeneous and multi-component liquid droplets; Chemical Engineering Research and Design; Vol. 150
Published: (2019)

Специальный курс по рабочей специальности
by: Алехин И. Н.
Published: (Самара, ПГУТИ, 2017)

Effect of the Angular and Linear Parameters of Interaction of Water Droplets of Various Shapes on the Characteristics of Their Collisions; Journal of Applied Mechanics and Technical Physics; Vol. 60, iss. 4
Published: (2019)

Measurement of free surface energy of laser treated aluminum substrate; MATEC Web of Conferences; Vol. 110 : Heat and Mass Transfer in the Thermal Control System of Technical and Technological Energy Equipment (HMTTSC 2017)
Published: (2017)

Компьютерное термодинамическое моделирование высокотемпературных процессов при плазменной обработке силикатных и керамических материалов
by: Волокитин Г. Г. Геннадий Георгиевич
Published: (Томск, Изд-во ТГАСУ, 2001)

Model of evolution of surface grain structure under ion bombardment; AIP Conference Proceedings; Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014
by: Knyazeva A. G. Anna Georgievna
Published: (2014)

Formation of the Hierarchical Porous Structure and Surface Morphology in the Micro-Arc Calcium Phosphate Coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
Published: (2019)

Тонкоплёночные наноматериалы на основе двойных оксидов тантала (V) и лантана (III); Современные техника и технологии; Т. 3
by: Лисеенко О. В.
Published: (2010)

Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
by: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Published: (Москва, Высшая школа, 1980)

Формирование нанопроводов оксида цинка на подложках с развитой поверхностью для газочувствительных слоёв; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Иванова А. А.
Published: (2018)

Управлению наношероховатостью и рост трехмерных структур на поверхности кальцийфосфатного покрытия, полученного методом ВЧ магнетронного распыления; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
by: Просолов К. А. Константин Александрович
Published: (2017)

Исследование влияния температуры поверхности подложки на скорость растекания капли; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 1
by: Батищева К. А. Ксения Артуровна
Published: (2014)

Рациональное использование шахтных кабелей
by: Лейбов Р. М.
Published: (Москва, Гостоптехиздат, 1942)

Channeling of 20-35 MeV electrons in Si substrates of multilayer structures; RReps'11. Radiation from Relativistic Electrons in Periodic Structures
by: Kaplin V. V. Valeriy Viktorovich
Published: (2011)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Published: (2013)

Кабельные системы: проектирование, монтаж и обслуживание: учебное и справочное пособие
by: Верити Б. Бет
Published: (Москва, Кудиц-Образ, 2004)

Изучение смачивания алюминиевой и стальной подложек полиорганосилоксанами в присутствии азотсодержащих поверхностно-активных веществ; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 328, № 11
Published: (2017)