Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек; Атомная энергия; Т. 95, вып. 5

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Атомная энергия: теоретический и научно-технический журнал/ Российская академия наук ; Министерство РФ по атомной энергии, ядерного общества.— , 1956-.— 0004-7163 Т. 95, вып. 5.— 2003.— с. 359-363
Altres autors:	Суворов А. Л., Графутин В. И., Проркопьев Е. П., Тимошенков С. П., Калугин В.В.
Idioma:	rus
Publicat:	2003
Col·lecció:	Статьи
Matèries:	химическая обработка изоляторы поверхности структуры кремния подложки сращивание очистка
Format:	MixedMaterials Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=425991

Ítems similars