Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек; Атомная энергия; Т. 95, вып. 5 - Суворов А. Л.; Графутин В. И.; Проркопьев Е. П.; Тимошенков С. П.; Калугин В.В. (Статьи, 2003)