|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
425991 |
| 005 |
20231101074500.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\84665
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\21898
|
| 090 |
|
|
|a 425991
|
| 100 |
|
|
|a 20100628a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек
|f А. Л. Суворов, В. И. Графутин, Е. П. Проркопьев и др.
|
| 225 |
1 |
|
|a Статьи
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 16 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\33
|x 0004-7163
|t Атомная энергия
|o теоретический и научно-технический журнал
|f Российская академия наук ; Министерство РФ по атомной энергии, ядерного общества
|d 1956-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\84659
|t Т. 95, вып. 5
|v с. 359-363
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a изоляторы
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a структуры кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a сращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592:621-39.512
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Суворов
|b А. Л.
|
| 701 |
|
1 |
|a Графутин
|b В. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Проркопьев
|b Е. П.
|
| 701 |
|
1 |
|a Тимошенков
|b С. П.
|
| 701 |
|
1 |
|a Калугин
|b В.В.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040128
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100628
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
