Суворов А. Л., Графутин В. И., Проркопьев Е. П., Тимошенков С. П., & Калугин В.В. (2003). Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек. 2003.
Chicago Style (17th ed.) CitationСуворов А. Л., Графутин В. И., Проркопьев Е. П., Тимошенков С. П., and Калугин В.В. Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек. 2003, 2003.
MLA (9th ed.) CitationСуворов А. Л., et al. Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек. 2003, 2003.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.