Оборудование ионной имплантации - Симонов В. В. Владимир Валентинович; Корнилов Л. А. Лев Александрович; Шашелев А. В. Алексей Васильевич; Шокин Е. В. Евгений Викторович (Москва, Радио и связь, 1988)