|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
42388 |
| 005 |
20231031015342.0 |
| 010 |
|
|
|a 5256000071
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\43646
|
| 090 |
|
|
|a 42388
|
| 100 |
|
|
|a 20020902d1988 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оборудование ионной имплантации
|f В. В. Симонов, Л. А. Корнилов, А. В. Шашелев, Е. В. Шокин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 182 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 170-181.
|
| 610 |
1 |
|
|a электротехнология
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Симонов
|b В. В.
|g Владимир Валентинович
|
| 701 |
|
1 |
|a Корнилов
|b Л. А.
|g Лев Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Шашелев
|b А. В.
|g Алексей Васильевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Шокин
|b Е. В.
|g Евгений Викторович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20020902
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211225
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Основы электротехнологии
|
| 900 |
|
|
|a Физика и техника низкотемпературной плазмы, плазмохимия, плазменные технологии обработки и модификации свойств материалов
|
| 900 |
|
|
|a Источники плазмы и плазменное оборудование
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
