Симонов В. В. Владимир Валентинович, Корнилов Л. А. Лев Александрович, Шашелев А. В. Алексей Васильевич, & Шокин Е. В. Евгений Викторович. (1988). Оборудование ионной имплантации. Москва, Радио и связь, 1988.
Chicago Style (17th ed.) CitationСимонов В. В. Владимир Валентинович, Корнилов Л. А. Лев Александрович, Шашелев А. В. Алексей Васильевич, and Шокин Е. В. Евгений Викторович. Оборудование ионной имплантации. Москва, Радио и связь, 1988, 1988.
MLA (9th ed.) CitationСимонов В. В. Владимир Валентинович, et al. Оборудование ионной имплантации. Москва, Радио и связь, 1988, 1988.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.