|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
419970 |
| 005 |
20231101073324.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\77432
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\23269
|
| 090 |
|
|
|a 419970
|
| 100 |
|
|
|a 20100301a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Кинетика гидрогенезации и изменение сопротивления тонких пленок ванадия при обработке в потоке атомарного водорода
|f В. А. Кагадей, Е. В. Нефедцев, Д. И. Проскуровский и др.
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика полупроводников и диэлектриков
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 11 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|x 0021-3411
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77421
|t Т. 46, № 11
|v с. 73-80
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a ванадий
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетика гидрогенизация
|
| 610 |
1 |
|
|a атомарный водород
|
| 610 |
1 |
|
|a наноэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниквые структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a закономерности
|
| 610 |
1 |
|
|a растворение
|
| 610 |
1 |
|
|a электросопротивление
|
| 610 |
1 |
|
|a эксперименты
|
| 675 |
|
|
|a 539.238
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.3
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 620.181
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 539.188
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Кагадей
|b В. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Нефедцев
|b Е. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Проскуровский
|b Д. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Романенко
|b С. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шевченко
|b Н. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Гретчел
|b Р.
|
| 701 |
|
1 |
|a Грамболь
|b Д.
|
| 701 |
|
1 |
|a Геррманн
|b Ф.
|
| 701 |
|
1 |
|a Иванов
|b Ю. Ф.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040226
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101029
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
