Кинетика гидрогенезации и изменение сопротивления тонких пленок ванадия при обработке в потоке атомарного водорода; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 11

Кинетика гидрогенезации и изменение сопротивления тонких пленок ванадия при обработке в потоке атомарного водорода; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 11

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411
Т. 46, № 11.— 2003.— с. 73-80
Other Authors: Кагадей В. А., Нефедцев Е. В., Проскуровский Д. И., Романенко С. В., Шевченко Н. А., Гретчел Р., Грамболь Д., Геррманн Ф., Иванов Ю. Ф.
Language:Russian
Published: 2003
Series:Физика полупроводников и диэлектриков
Subjects:
пленки
ванадий
кинетика гидрогенизация
атомарный водород
наноэлектроника
полупроводниквые структуры
закономерности
растворение
электросопротивление
эксперименты
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419970
Description
Description not available.

Similar Items