|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
419895 |
| 005 |
20231101073321.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\77353
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\24535
|
| 090 |
|
|
|a 419895
|
| 100 |
|
|
|a 20100227a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Измерение сопротивления контактов металл-полупроводник и контроль удельного сопротивления полупроводниковых пленок
|f В. В. Филлипов, П. В. Фролов, Н. Н. Поляков
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика полупроводников и диэлектриков
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 6 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|x 0021-3411
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77338
|t Т. 46, № 7
|v с. 79-86
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a металл-полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a сопротивление
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a удельное сопротивление
|
| 610 |
1 |
|
|a аналитические выражения
|
| 610 |
1 |
|
|a изолирующие подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль качества
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические контакты
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Филлипов
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Фролов
|b П. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Поляков
|b Н. Н.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040330
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101028
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
