Исследование элементарных процессов роста при газофазовой эпитапсии полупроводниковых соединений III- V

Bibliografiset tiedot
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411
Т. 46, № 6.— 2003.— с. 44-50
Päätekijä: Ивонин И. В.
Muut tekijät: Бобровникова И. А.
Kieli:venäjä
Julkaistu: 2003
Aiheet:
Aineistotyyppi: Kirjan osa
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419872

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 419872
005 20231101073320.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\77330 
035 |a RU\TPU\prd\19611 
090 |a 419872 
100 |a 20100227a2003 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Исследование элементарных процессов роста при газофазовой эпитапсии полупроводниковых соединений III- V  |f И. В. Ивонин, И. А. Бобровникова 
320 |a Библиогр.: 44 назв. 
461 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191  |x 0021-3411  |t Известия вузов. Физика  |f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет  |d 1958- 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77324  |t Т. 46, № 6  |v с. 44-50  |d 2003 
610 1 |a газофазовая эпитапсия 
610 1 |a элементарные процессы роста 
610 1 |a полупроводниковые соединения III -V 
610 1 |a кристализация 
610 1 |a пленки 
610 1 |a модель Бартона-Кабреры-Франка 
610 1 |a исследование 
675 |a 621.315.592:539.216.22:548.522  |v 3 
700 1 |a Ивонин  |b И. В. 
701 1 |a Бобровникова  |b И. А. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20031114  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20101028  |g RCR 
942 |c BK