|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
397024 |
| 005 |
20231101064831.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\35634
|
| 090 |
|
|
|a 397024
|
| 100 |
|
|
|a 20050506a2005 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование технологических особенностей и моделирование новой методики ионной имплантации из импульсной лазерной плазмы
|f В. Ю. Фоминский, А. Г. Гнедовец, А. В. Хороманская, А. Л. Смирнов
|
| 225 |
1 |
|
|a Современные технологии
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 8 назв.
|
| 461 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1723
|x 0203-347X
|t Справочник. Инженерный журнал
|o научно-технический и производственный журнал
|d 2000-
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\35128
|t № 3
|v С. 22-28
|d 2005
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсная лазерная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические особенности
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-имплантационная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсное ускорение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a компьютерные модели
|
| 610 |
1 |
|
|a сравнительный анализ
|
| 701 |
|
1 |
|a Фоминский
|b В. Ю.
|
| 701 |
|
1 |
|a Гнедовец
|b А. Г.
|
| 701 |
|
1 |
|a Хороманская
|b А. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Смирнов
|b А. Л.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050506
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140116
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
