Исследование технологических особенностей и моделирование новой методики ионной имплантации из импульсной лазерной плазмы

Bibliographic Details
Parent link:	Справочник. Инженерный журнал: научно-технический и производственный журнал.— , 2000-.— 0203-347X № 3.— 2005.— С. 22-28
Other Authors:	Фоминский В. Ю., Гнедовец А. Г., Хороманская А. В., Смирнов А. Л.
Published:	2005
Series:	Современные технологии
Subjects:	ионная имплантация импульсная лазерная плазма технологические особенности моделирование материалы ионно-имплантационная обработка импульсное ускорение ионы компьютерные модели сравнительный анализ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=397024

Description
Description not available.

Similar Items