Формирование микродефектной структуры полупроводникового кремния
| Parent link: | Наукоемкие технологии: научно-технический журнал.— , 2001- № 6.— 2004.— С. 8-14 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2004
|
| Series: | Новые материалы и технологии формирования их свойств |
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=395654 |