|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
395654 |
| 005 |
20231101064648.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\33231
|
| 090 |
|
|
|a 395654
|
| 100 |
|
|
|a 20050228a2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Формирование микродефектной структуры полупроводникового кремния
|f В. И. Таланин, И. Е. Таланин, Д. И. Левинзон
|
| 225 |
1 |
|
|a Новые материалы и технологии формирования их свойств
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 48 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1139
|t Наукоемкие технологии
|o научно-технический журнал
|d 2001-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\27450
|t № 6
|v С. 8-14
|d 2004
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковый кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a микродефектные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a просвечивающая электронная микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a метод Чохральского
|
| 610 |
1 |
|
|a вакансионный режим
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Таланин
|b В. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Таланин
|b И. Е.
|
| 701 |
|
1 |
|a Левинзон
|b Д. И.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050228
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
