Высокоточный метод оже-анализа состава неочищенной поверхности окисла кремния

Высокоточный метод оже-анализа состава неочищенной поверхности окисла кремния

Bibliographic Details
Parent link:	Измерительная техника=Measurement Techniques: научно-технический журнал/ Российская Федерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Ростехрегулирование) (Госстандарт России).— , 1940-1941, 1955-.— 0368-1025 № 10.— 2004.— С. 57-60
Main Author:	Костишко Б. М.
Other Authors:	Апполонов С. В., Саломатин С. Я.
Published:	2004
Series:	Физико-химические измерения
Subjects:	электронная оже-спектроскопия плотность электронных состояний порисный кремний водное дотравливание
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=395506

Similar Items

Ионная оже-спектроскопия учебное пособие
by: Дорожкин А. А. Андрей Андреевич
Published: (Ленинград, Изд-во ЛПИ, 1983)

Оже-спектроскопия механоактивированных порошков диборида циркония
Published: (2011)

Трехэлектронный оже-распад в атомах
by: Амусья М. Я.
Published: (1985)

Т. 14
Published: (1982)

Двойной Оже-распад в рамках МВТ
by: Ли И. С.
Published: (1989)

Сателлитные Оже-переходы в KrII
by: Килин В. А. Виктор Андреевич
Published: (2015)

Сдвоенный Оже-распад двух К-вакансий в неоне
by: Амусья М. Я.
Published: (1984)

Электронная спектроскопия и атомные процессы на поверхности кремния
by: Лифшиц В. Г. Виктор Григорьевич
Published: (Москва, Наука, 1985)

Исследование углового распределения оже-электронов в атоме Хе
by: Елизаров А. Ю.
Published: (2003)

Автоматическое управление и регистрация оже-спектрометром 09 ИОС-3
Published: (2003)

Совместное использование методов Оже-спектроскопии и оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего разряда для исследования электронной структуры мультислойных покрытий, композиционных материалов и сплавов
Published: (2020)

Микроанализ и растровая электронная микроскопия пер. с фр.
Published: (Москва, Металлургия, 1985)

Диаграммы состояния неметаллических систем. Окислы металлических элементов и кремния
by: Агеева Д. Л.
Published: (Москва, ВИНИТИ, 1966)

Диагностика поверхности ионными пучками тезисы докладов Всесоюзного совещания - семинара 17-27 сентября
Published: (Донецк, [Б. и.], 1980)

Исследование методом электронной ОЖЕ-спектроскопии физико-химических взаимодействий в структурах металл-арсенид галлия автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пирогов В. А. Виктор Алексеевич
Published: (Томск, Изд-во ТГУ, 1986)

Диагностика поверхности тезисы оригинальных докладов Всесоюзной конференции, 18-20 ноября 1986 г., Каунас
Published: (Черноголовка, [Б. и.], 1986)

Элементарные процессы с участием многозарядных ионов
by: Пресняков Л. П. Леонид Петрович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1986)

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
by: Акципетров О. А.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)

Кремний-германиевые наноструктуры: электронные параметры и оптические характеристики
by: Брудный В. Н.
Published: (2004)

Электронная спектроскопия кристаллов
by: Немошкаленко В. В. Владимир Владимирович
Published: (Киев, Наукова думка, 1983)

Моделирование электронной структуры кристаллов. Зонная структура и плотность состояний Учебно-методическое пособие
by: Манякин М. Д.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2015)

Физические взаимодействия в химически реагирующих системах междуведомственный сборник научных трудов
Published: (Москва, МФТИ, 1990)

Спиновая поляризация и угловое распределение оже-электронов, образующихся в результате распада [3d -¹ 5p]- состояниях в атоме Kr
by: Елизаров А. Ю.
Published: (2004)

Тезисы докладов IV Всесоюзного симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел - "РЭМ-84", апрель 1984 г., г. Звенигород
Published: (Москва, Изд-во МГУ, 1984)

Effect of Electron-Beam Treatment on the Elemental Composition and Static Displacements of Atoms in the Nearsurface Layer of Cr-Mn-N Austenitic Steel
Published: (2019)

Comparison of gaseous contamination of thin tungsten and gold coatings deposited from ablated plasma generated by Intense Pulsed Ion Beams
by: Ryzhkov V. A. Vladislav Andreevich
Published: (2022)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Published: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2013)

Взаимодействие молекул диоксида азота с поверхностью кремниевых нанокристаллов в слоях пористого кремния
Published: (2004)

Фотоэлектронная и Оже-спектроскопия пер. с англ.
by: Карлсон Т. Томас А.
Published: (Ленинград, Машиностроение, 1981)

Явления на поверхности твердого тела и тонкие пленки в криоэлектронике Сборник статей
Published: (Ленинград, Изд-во ЛЭТИ, 1978)

Т.7 : Окислы металличсеких элементов и кремния
Published: (1972)

Определение форм связей кремния в углефицированных веществах с помощью инфракрасной спектроскопии
by: Дмитриенко А. А.
Published: (2021)

Химия кремния и физическая химия силикатов учебное пособие
by: Торопов Н. А. Никита Александрович
Published: (Москва, Промстройиздат, 1950)

Химия кремния и физическая химия силикатов учебное пособие
by: Евстропьев К. С. Константин Сергеевич
Published: (Москва, Промстройиздат, 1956)

Неорганические бескислородные соединения кремния учебное пособие
by: Торопов Н. А. Никита Александрович
Published: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1964)

Ч. 3
Published: (2004)

Структурные фазы азида серебра
by: Лисицын В. М. Виктор Михайлович
Published: (2010)

Т. 6: Соединения селена, теллура, кремния и бора
Published: (1984)

Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля пер. с англ.
by: Брандон Д.
Published: (Москва, Техносфера, 2006)

Адсорбция атома кремния на поверхностях (001) и (110) соединений TiN, TaN, AlN: расчеты из первых принципов
by: Огнев С. О. Сергей Олегович
Published: (2023)