|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
395506 |
| 005 |
20231101064631.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\32833
|
| 090 |
|
|
|a 395506
|
| 100 |
|
|
|a 20050215a2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Высокоточный метод оже-анализа состава неочищенной поверхности окисла кремния
|f Б. М. Костишко, С. В. Апполонов, С. Я. Саломатин
|
| 225 |
1 |
|
|a Физико-химические измерения
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 20 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1509
|x 0368-1025
|t Измерительная техника
|l Measurement Techniques
|o научно-технический журнал
|f Российская Федерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Ростехрегулирование) (Госстандарт России)
|d 1940-1941, 1955-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\30496
|t № 10
|v С. 57-60
|d 2004
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная оже-спектроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a плотность электронных состояний
|
| 610 |
1 |
|
|a порисный кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a водное дотравливание
|
| 675 |
|
|
|a 543.423:539.219.1
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Костишко
|b Б. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Апполонов
|b С. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Саломатин
|b С. Я.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050215
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121218
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
