|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
393615 |
| 005 |
20231101064418.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\29841
|
| 090 |
|
|
|a 393615
|
| 100 |
|
|
|a 20041115a2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование твёрдости многослойных плёночных структур титан-гидрогенизированный аморфный углерод микро- и наноиндентированием
|f А. В. Осипов, Ю. В. Панфилов, М. И. Петржик и др.
|
| 225 |
1 |
|
|a Современные технологии
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 9 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1723
|x 0203-347X
|t Справочник. Инженерный журнал
|o научно-технический и производственный журнал
|d 2000-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\28966
|t № 9
|v С. 14-19
|d 2004
|
| 610 |
1 |
|
|a плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a плёночные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a твёрдость
|
| 610 |
1 |
|
|a микроиндентирование
|
| 610 |
1 |
|
|a наноиндентирование
|
| 610 |
1 |
|
|a многослойные плёночные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a плёночные материалы
|
| 701 |
|
1 |
|a Осипов
|b А. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Панфилов
|b Ю. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Петржик
|b М. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Штанский
|b Д. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Левашов
|b Е. А.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20041115
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140116
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
