MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 38982
005 20231031011004.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\39815 
090 |a 38982 
100 |a 20020321d1977 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Микроэлектроника  |a Физические и технологические основы, надежность  |e учебное пособие для вузов  |f И. Е. Ефимов, Ю. И. Горбунов, И. Я. Козырь 
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 1977 
215 |a 416 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 412-414. 
610 1 |a электроника 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a физические основы 
610 1 |a технологические основы 
610 1 |a надежность 
610 1 |a учебные пособия 
675 |a 621.382.049.77(075.8)  |v 3 
700 1 |a Ефимов  |b И. Е.  |g Иван Ефимович 
701 1 |a Горбунов  |b Ю. И.  |g Юрий Иванович 
701 1 |a Козырь  |b И. Я.  |g Иван Яковлевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20020321  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150521  |g PSBO 
942 |c BK