Задача нахождения оптимального режима процесса внешнего геттерирования; Информационные технологии; № 11

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Информационные технологии: теоретический и прикладной научно-технический журнал.— , 2000- № 11.— 2003.— С. 13-19
Glavni avtor:	Копылова Т. В.
Jezik:	ruščina
Izdano:	2003
Serija:	Моделирование
Teme:	внешнее геттерирование математические модели соболевсие пространства метод аппроксимации микроэлектроника технологические процессы парагенетические задачи интегральная электроника
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=389183

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	389183
005	20231101063830.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\21060
090			\|a 389183
100			\|a 20040106a2003 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Задача нахождения оптимального режима процесса внешнего геттерирования \|f Т. В. Копылова
225	1		\|a Моделирование
320			\|a Библиогр.: 10 назв.
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1520 \|t Информационные технологии \|o теоретический и прикладной научно-технический журнал \|d 2000-
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\20703 \|t № 11 \|v С. 13-19 \|d 2003
610	1		\|a внешнее геттерирование
610	1		\|a математические модели
610	1		\|a соболевсие пространства
610	1		\|a метод аппроксимации
610	1		\|a микроэлектроника
610	1		\|a технологические процессы
610	1		\|a парагенетические задачи
610	1		\|a интегральная электроника
675			\|a 517.956.4 \|v 3
700		1	\|a Копылова \|b Т. В.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20040106 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20130507 \|g RCR
942			\|c BK