Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: учебник для вузов; в 2 т.

Бібліографічні деталі
Інші автори: Василенко Н. В. Николай Васильевич (редактор), Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Ковалев Л. К. Лев Кузьмич, Логинов Л. Н. Лев Николаевич, Степанчиков С. В. Сергей Валентинович
Мова:Російська
Опубліковано: Красноярск, Красноярское книжное издательство, 1995-1996
Формат: Книга
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=38870

MARC

LEADER 00000nam1a2200000 4500
001 38870
005 20231031010841.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\39700 
090 |a 38870 
100 |a 20020319d1995 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники  |e учебник для вузов  |e в 2 т.  |f Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, Л. К. Ковалев и др.  |g под ред. Л. К. Ковалева, Н. В. Василенко 
210 |a Красноярск  |c Красноярское книжное издательство  |d 1995-1996 
701 1 |a Василенко  |b Н. В.  |g Николай Васильевич 
701 1 |a Ивашов  |b Е. Н.  |g Евгений Николаевич 
701 1 |a Ковалев  |b Л. К.  |g Лев Кузьмич 
701 1 |a Логинов  |b Л. Н.  |g Лев Николаевич 
701 1 |a Степанчиков  |b С. В.  |g Сергей Валентинович 
702 1 |a Ковалев  |b Л. К.  |g Лев Кузьмич  |4 340 
702 1 |a Василенко  |b Н. В.  |g Николай Васильевич  |4 340 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20020319  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20130603  |g PSBO 
942 |c BK