Тонкопленочная технология: пер. с англ.

Bibliographic Details
Main Author:	Берри Р.
Other Authors:	Гаррис М., Холл П.
Language:	Russian
Published:	Москва, Энергия, 1972
Subjects:	электроника пленки тонкие получение микроэлектронные схемы производство подложки тонкопленочные схемы микроэлектронные рельефы интегральные микросхемы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=38215

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	38215
005	20231031005208.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\38899
090			\|a 38215
100			\|a 20020226d1972 km y0rusy50 ca
101	1		\|a rus \|c eng
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Тонкопленочная технология \|e пер. с англ. \|f Р. Берри, М. Гаррис, П. Холл
210			\|a Москва \|c Энергия \|d 1972
215			\|a 336 с. \|c ил.
320			\|a Список лит.: с. 329-335.
610	1		\|a электроника
610	1		\|a пленки тонкие
610	1		\|a получение
610	1		\|a микроэлектронные схемы
610	1		\|a производство
610	1		\|a подложки
610	1		\|a тонкопленочные схемы
610	1		\|a микроэлектронные рельефы
610	1		\|a интегральные микросхемы
675			\|a 621.382.049.772 \|v 3
700		1	\|a Берри \|b Р.
701		1	\|a Гаррис \|b М.
701		1	\|a Холл \|b П.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20020226 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150526 \|g PSBO
942			\|c BK