|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
38215 |
| 005 |
20231031005208.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\38899
|
| 090 |
|
|
|a 38215
|
| 100 |
|
|
|a 20020226d1972 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Тонкопленочная технология
|e пер. с англ.
|f Р. Берри, М. Гаррис, П. Холл
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1972
|
| 215 |
|
|
|a 336 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Список лит.: с. 329-335.
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки тонкие
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные рельефы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Берри
|b Р.
|
| 701 |
|
1 |
|a Гаррис
|b М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Холл
|b П.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20020226
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150526
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
