|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
376741 |
| 005 |
20231102012837.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\34183
|
| 090 |
|
|
|a 376741
|
| 100 |
|
|
|a 20230110d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Подвижность электронов в тонких пленках кремния
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|e спец. 1.3.11
|f Э. Г. Зайцева
|g Российская академия наук, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; науч. рук. О. В. Наумова
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c [Б. и.]
|d 2022
|
| 215 |
|
|
|a 26 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 17.01.2023 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 21-26 (41 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Пленки тонкие
|x Электронные процессы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\49239
|9 68040
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a носители заряда
|
| 610 |
1 |
|
|a подвижность
|
| 610 |
1 |
|
|a рассеяние
|
| 610 |
1 |
|
|a экспериментальные образцы
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a электроны
|
| 610 |
1 |
|
|a плотность
|
| 610 |
1 |
|
|a метод выделения компонент подвижности
|
| 610 |
1 |
|
|a внутрипленочные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a пространственное распределение
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.10
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Зайцева
|b Э. Г.
|g Эльза Гайнуллаевна
|
| 702 |
|
1 |
|a Наумова
|b О. В.
|g Ольга Викторовна
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук
|b Сибирское отделение
|b Институт физики полупроводников
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\197
|9 23267
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230110
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230321
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
