|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
374943 |
| 005 |
20231102012706.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\32378
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\304020
|
| 090 |
|
|
|a 374943
|
| 100 |
|
|
|a 20221219d1985 m y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология полупроводниковых материалов
|e [учебное пособие]
|f Р. Х. Акчурин
|g Московский институт химического машиностроения
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИХМ
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 65 с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 300 |
|
|
|a На обл. авт. не указан
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 65 (8 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые материалы
|x Параметры
|x Измерение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50665
|9 69316
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a зонная плавка
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a вытягивание
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкофазная эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a газофазная эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a теория
|
| 610 |
1 |
|
|a лабораторные работы
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592(075.8)
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Акчурин
|b Р. Х.
|g Рауф Хамзинович
|4 070
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский институт химического машиностроения
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\7881
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150112
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20221219
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
