Технология обработки поверхностей в микроэлектронике

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Полтавцев Ю. Г. Юрий Гаврилович
Další autoři:	Князев А. С. Александр Сергеевич
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Киев, Тэхника, 1990
Témata:	микроэлектроника поверхности технология химическая очистка плазмохимическая очистка лазерная очистка качество контроль обработка
Médium:	MixedMaterials Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=374009

Podobné jednotky