Технология обработки поверхностей в микроэлектронике

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Полтавцев Ю. Г. Юрий Гаврилович
Andre forfattere:	Князев А. С. Александр Сергеевич
Sprog:	russisk
Udgivet:	Киев, Тэхника, 1990
Fag:	микроэлектроника поверхности технология химическая очистка плазмохимическая очистка лазерная очистка качество контроль обработка
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=374009

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	374009
005	20231101050958.0
010			\|a 5335005726
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\retro\31442
035			\|a RU\TPU\book\249571
090			\|a 374009
100			\|a 20221216d1990 km y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a UA
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Технология обработки поверхностей в микроэлектронике \|f Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев
210			\|a Киев \|c Тэхника \|d 1990
215			\|a 207 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 197-204.
610	1		\|a микроэлектроника
610	1		\|a поверхности
610	1		\|a технология
610	1		\|a химическая очистка
610	1		\|a плазмохимическая очистка
610	1		\|a лазерная очистка
610	1		\|a качество
610	1		\|a контроль
610	1		\|a обработка
675			\|a 621.382.049.77.002 \|v 3
700		1	\|a Полтавцев \|b Ю. Г. \|g Юрий Гаврилович
701		1	\|a Князев \|b А. С. \|g Александр Сергеевич
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20121225
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20221216 \|g RCR
942			\|c BK