Физика окисных пленок: межвузовский сборник научных трудов

Bibliografische gegevens
Coauteur:	Петрозаводский государственный университет (ПетрГУ)
Andere auteurs:	Малиненко В. П. Владимир Пантелеймонович (редактор)
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	Петрозаводск, Изд-во Петрозаводского ун-та, 1988
Onderwerpen:	Кремний > Окисные пленки > Получение физика электронные процессы ионные процессы методы
Formaat:	xMaterials Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=373459

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	373459
005	20231102012552.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\retro\30889
035			\|a RU\TPU\book\270866
090			\|a 373459
100			\|a 20221216d1988 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Физика окисных пленок \|e межвузовский сборник научных трудов \|f Петрозаводский государственный университет (ПетрГУ) ; отв. ред. В. П. Малиненко
210			\|a Петрозаводск \|c Изд-во Петрозаводского ун-та \|d 1988
215			\|a 92 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр. в конце статей
606	1		\|a Кремний \|x Окисные пленки \|x Получение \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\16165 \|9 42334
610	1		\|a физика
610	1		\|a электронные процессы
610	1		\|a ионные процессы
610	1		\|a методы
675			\|a 539.23 \|v 3
702		1	\|a Малиненко \|b В. П. \|g Владимир Пантелеймонович \|4 340
712	0	2	\|a Петрозаводский государственный университет (ПетрГУ) \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1601
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20140129
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20221216 \|g RCR
942			\|c BK