Берлин Е. В. Евгений Владимирович & Сейдман Л. А. Лев Александрович. (2014). Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Москва, Техносфера, 2014.
Chicago Style (17th ed.) CitationБерлин Е. В. Евгений Владимирович and Сейдман Л. А. Лев Александрович. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Москва, Техносфера, 2014, 2014.
MLA (9th ed.) CitationБерлин Е. В. Евгений Владимирович and Сейдман Л. А. Лев Александрович. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Москва, Техносфера, 2014, 2014.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.