Ионное легирование в микроэлектронике: учебное пособие для средних профессиональных заведений

Bibliographic Details
Main Author:	Грищенко А. Ф. Анатолий Федорович
Language:	Russian
Published:	Москва, Высшая школа, 1985
Subjects:	микроэлектроника легирование учебные пособия физические основы процессы технологические процессы оборудование электрические характеристики безопасность труда
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=373037

Description
Physical Description:	48 с. ил.

Similar Items