|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
373008 |
| 005 |
20231101050536.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\30433
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\223816
|
| 090 |
|
|
|a 373008
|
| 100 |
|
|
|a 20221215d1979 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов
|f В. С. Сироткин, Ф. П Пресс
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 208 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 202-207.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a многомерные модели
|
| 610 |
1 |
|
|a построение
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a работа
|
| 610 |
1 |
|
|a алгоритмы
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Сироткин
|b В. С.
|g Валерий Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Пресс
|b Ф. П
|g Феликс Павлович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111208
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20221215
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
