Сироткин В. С. Валерий Степанович & Пресс Ф. П Феликс Павлович. (1979). Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов. Москва, Энергия, 1979.
Cita Chicago (17th ed.)Сироткин В. С. Валерий Степанович i Пресс Ф. П Феликс Павлович. Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов. Москва, Энергия, 1979, 1979.
Cita MLA (9th ed.)Сироткин В. С. Валерий Степанович i Пресс Ф. П Феликс Павлович. Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов. Москва, Энергия, 1979, 1979.
Atenció: Aquestes cites poden no estar 100% correctes.