|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
371769 |
| 005 |
20231102012419.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\29179
|
| 090 |
|
|
|a 371769
|
| 100 |
|
|
|a 20221110d1978 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химия полупроводникового материаловедения
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж
|c Изд-во Воронежского гос. ун-та
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 172 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Физико-химические исследования
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50609
|9 69262
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a алюминиевая металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a термическое окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a фосфиды
|
| 610 |
1 |
|
|a олово
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592:54
|v 4
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20221110
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
