Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Andre forfattere:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 27.12.2022
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, 2022
Fag:	Твердые тела > Распыление Плазменная металлизация электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение твердые покрытия соединения хром азот плазма магнетронные распылительные системы нитриды металлов оксиды металлов мишени математические модели магнетроны элементный состав кристаллические структуры функциональные свойства микротвердость упругость коррозионная стойкость
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73700
Format:	Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=371578

Lignende værker

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2022)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2020)

Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: сборник статей; пер. с англ.
Udgivet: (Москва, Мир, 1989)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Udgivet: (2008)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Жукова М. А.
Udgivet: (2007)

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий
af: Барвинок В. А. Виталий Алексеевич
Udgivet: (Москва, Машиностроение, 1990)

Высокоскоростное внутреннее шлифование
af: Рубинчик С. И. Самуил Иосифович
Udgivet: (Москва, Машиностроение, 1983)

Высокоскоростное малоотходное деформирование металлов в штампах: [монография]
Udgivet: (Харьков, Вища школа, 1985)

Плазменные порошковые покрытия
af: Борисов Ю. С. Юрий Сергеевич
Udgivet: (Киев, Технiка, 1986)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
af: Арсланов И. Р.
Udgivet: (2002)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, 2017)

Механоплазменная обработка металла
af: Сошко В. А. Виктор Александрович
Udgivet: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, 2017)

Теоретические исследования и практическое применение плазменных износостойких покрытий
Udgivet: (Свердловск, Изд-во НЦ АН СССР, 1983)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Udgivet: (2019)

Разработка спеченных Ti-Cu, Ti-Si катодов для ионно- плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.16.09
af: Гурских А. В. Алексей Валерьевич
Udgivet: (Томск, 2012)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2020)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Udgivet: (2018)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Udgivet: (2022)

Плазменная технология в машиностроении: [монография]
af: Стацура В. В. Вениамин Вениаминович
Udgivet: (Красноярск, Изд-во Красноярского ун-та, 1990)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Udgivet: (2020)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2014)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец.01.04.20
af: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1988)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Киселева Д. В.
Udgivet: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Udgivet: (Томск, 2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2018)

Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления: монография
Udgivet: (Казань, Изд-во Казанского ГТУ, 2007)

Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности плазмодинамическим методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12
af: Шаненкова Ю. Л. Юлия Леонидовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2019)

Высокоскоростное формоизменение и разрушение металлов: монография
af: Кононенко В. Г. Вадим Григорьевич
Udgivet: (Харьков, Вища школа, 1980)

Магнетроны: пер. с англ.
af: Фиск Д.
Udgivet: (Москва, Советское радио, 1948)

Высокоскоростное шлифование
af: Филимонов Л. Н. Леонид Николаевич
Udgivet: (Ленинград, Машиностроение, 1979)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец. 01.04.20
af: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1988)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.09.04
af: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1979)

Дуальная магнетронная распылительная система
Udgivet: ()