Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
| 第一著者: | |
|---|---|
| 団体著者: | |
| その他の著者: | |
| 要約: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 27.12.2022 |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
Томск, 2022
|
| 主題: | |
| オンライン・アクセス: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73690 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=371577 |
MARC
| LEADER | 00000nlm0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 371577 | ||
| 005 | 20240209123355.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\retro\28987 | ||
| 035 | |a RU\TPU\retro\28972 | ||
| 090 | |a 371577 | ||
| 100 | |a 20221027d2022 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a dm 000zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем |e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |e спец. 1.3.8 |f В. А. Грудинин |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. Г. А. Блейхер | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 210 | |a Томск |d 2022 | ||
| 215 | |a 1 файл (3 249 КБ) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 300 | |a Защита сост. 27.12.2022 | ||
| 338 | |b Российский научный фонд |d 15-19-00026 | ||
| 338 | |b Российский фонд фундаментальных исследований |d 20-38-90134 | ||
| 452 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\380213 |t Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем |o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |o спец. 1.3.8 |f В. А. Грудинин |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. Г. А. Блейхер |c Томск |n [Б.и.] |d 2022 |p 22 с. |a Грудинин, Владислав Алексеевич | |
| 606 | 1 | |a Твердые тела |x Распыление |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58678 |9 76443 | |
| 606 | 1 | |a Плазменная металлизация |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48948 |9 67764 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a авторефераты диссертаций | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a высокоскоростное осаждение | |
| 610 | 1 | |a твердые покрытия | |
| 610 | 1 | |a соединения | |
| 610 | 1 | |a хром | |
| 610 | 1 | |a азот | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a магнетронные распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a нитриды металлов | |
| 610 | 1 | |a оксиды металлов | |
| 610 | 1 | |a мишени | |
| 610 | 1 | |a математические модели | |
| 610 | 1 | |a магнетроны | |
| 610 | 1 | |a элементный состав | |
| 610 | 1 | |a кристаллические структуры | |
| 610 | 1 | |a функциональные свойства | |
| 610 | 1 | |a микротвердость | |
| 610 | 1 | |a упругость | |
| 610 | 1 | |a коррозионная стойкость | |
| 675 | |a 539.2:539.1(04) |v 4 | ||
| 675 | |a 621.793.74(04) |v 4 | ||
| 686 | |a 01.04.07 |2 oksvnk | ||
| 700 | 1 | |a Грудинин |b В. А. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1995- |g Владислав Алексеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\42339 |9 21518 | |
| 702 | 1 | |a Блейхер |b Г. А. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1961- |g Галина Алексеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948 |4 727 |9 13681 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20230124 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73690 | |
| 942 | |c CF | ||