|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
371284 |
| 005 |
20231102012349.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\28694
|
| 090 |
|
|
|a 371284
|
| 100 |
|
|
|a 20221007d1978 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
|f В. М. Колешко, А. А. Ковалевский
|g Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 344 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 320-340
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые пленки
|x Получение
|x (электроника)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\68768
|9 83926
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетика
|
| 610 |
1 |
|
|a стимулирование
|
| 610 |
1 |
|
|a физические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Колешко
|b В. М.
|g Владимир Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Ковалевский
|b А. А.
|g Александр Адамович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Белорусской ССР
|b Институт электроники
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\7643
|9 24355
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20221007
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
