|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
371175 |
| 005 |
20231102012343.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\28585
|
| 090 |
|
|
|a 371175
|
| 100 |
|
|
|a 20220927d1978 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a LT
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физическая электроника. Развитие технических наук в республике и использование их результатов
|e тезисы докладов конференции, Каунас, 30 января - 4 февраля 1978 г.
|f Каунасский политехнический институт
|
| 210 |
|
|
|a Каунас
|c Изд-во КПИ
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 158 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 320 |
|
|
|a Авторский указатель: с. 154-157
|
| 606 |
1 |
|
|a Электроника физическая
|x (электроника)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\68671
|9 83861
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a установки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a твердое тело
|
| 610 |
1 |
|
|a ионноимплантированные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a релаксационные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное облучение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a конференции
|
| 675 |
|
|
|a 621.38(063)
|v 4
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Каунасский политехнический институт
|c (1951-1990)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19320
|9 27441
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Развитие технических наук в республике и использование их результатов
|c конференция
|e Каунас
|f 1978
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220927
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220927
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
