Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС, учебное пособие

Detaylı Bibliyografya
Müşterek Yazar:	Московский государственный институт электронной техники
Diğer Yazarlar:	Глазов В. М. (340), Гурская Л. В., Игнатьев В. В., Королев М. А., Ревелева М. А.
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	Москва, [Б. и.], 1977
Konular:	интегральные схемы фотолитография диффузия эпитаксиальное наращивание эпитаксиальные пленки металлизация учебные пособия
Materyal Türü:	Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=371121

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	371121
005	20231102012340.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\retro\28531
090			\|a 371121
100			\|a 20220919d1977 m y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a j 001zy
200	1		\|a Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС \|e учебное пособие \|f В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев, М. А. Королев \|g Московский государственный институт электронной техники ; под ред. М. А. Ревелевой
210			\|a Москва \|c [Б. и.] \|d 1977
215			\|a 129 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 126
606	1		\|a Полупроводниковые схемы \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50742 \|9 69392
610	1		\|a интегральные схемы
610	1		\|a фотолитография
610	1		\|a диффузия
610	1		\|a эпитаксиальное наращивание
610	1		\|a эпитаксиальные пленки
610	1		\|a металлизация
610	1		\|a учебные пособия
675			\|a 621.382(075) \|v 3
701		1	\|a Глазов \|b В. М.
701		1	\|a Гурская \|b Л. В.
701		1	\|a Игнатьев \|b В. В.
701		1	\|a Королев \|b М. А.
702		1	\|a Ревелева \|b М. А. \|4 340
712	0	2	\|a Московский государственный институт электронной техники \|c (1965-1992) \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357 \|9 27450
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20220919
942			\|c BK