• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Advanced
  • Основные процессы планарной те...
  • Cite this
  • Text this
  • Email this
  • Print
  • Export Record
    • Export to RefWorks
    • Export to EndNoteWeb
    • Export to EndNote
  • Permanent link
Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС учебное пособие

Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС, учебное пособие

Bibliographic Details
Corporate Author: Московский государственный институт электронной техники
Other Authors: Глазов В. М. (340), Гурская Л. В., Игнатьев В. В., Королев М. А., Ревелева М. А.
Language:Russian
Published: Москва, [Б. и.], 1977
Subjects:
интегральные схемы
фотолитография
диффузия
эпитаксиальное наращивание
эпитаксиальные пленки
металлизация
учебные пособия
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=371121
  • Holdings
  • Description
  • Similar Items
  • Staff View
Description
Physical Description:129 с. ил.

Similar Items

  • Технология полупроводникового производства (программированное пособие) учебное пособие
    by: Мокеев О. К. Олег Константинович
    Published: (Москва, Высшая школа, 1984)
  • Технология эпитаксиальных слоев арсенида галлия и приборы на их основе
    by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
    Published: (Москва, Энергия, 1974)
  • Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем материалы III Всесоюзного научно-технического семинара, Рязань, 14-16 июня 1984 г.
    Published: (Рязань, Изд-во РРТИ, 1985)
  • Конструкторско-технологические основы проектирования полосковых микросхем
    Published: (Москва, Радио и связь, 1987)
  • Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
    by: Королев М. А. Михаил Александрович
    Published: (2009)