Московский государственный институт электронной техники, Глазов В. М., Гурская Л. В., Игнатьев В. В., Королев М. А., & Ревелева М. А. (1977). Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Московский государственный институт электронной техники, Глазов В. М., Гурская Л. В., Игнатьев В. В., Королев М. А., και Ревелева М. А. Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977, 1977.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Московский государственный институт электронной техники, et al. Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977, 1977.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.