Московский государственный институт электронной техники, Глазов В. М., Гурская Л. В., Игнатьев В. В., Королев М. А., & Ревелева М. А. (1977). Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977.
Citação norma ChicagoМосковский государственный институт электронной техники, Глазов В. М., Гурская Л. В., Игнатьев В. В., Королев М. А., and Ревелева М. А. Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977, 1977.
Citação norma MLAМосковский государственный институт электронной техники, et al. Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977, 1977.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.