Cita APA (7th ed.)

Московский государственный институт электронной техники, Глазов В. М., Гурская Л. В., Игнатьев В. В., Королев М. А., & Ревелева М. А. (1977). Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977.

Cita Chicago (17th ed.)

Московский государственный институт электронной техники, Глазов В. М., Гурская Л. В., Игнатьев В. В., Королев М. А., i Ревелева М. А. Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977, 1977.

Cita MLA (9th ed.)

Московский государственный институт электронной техники, et al. Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие. Москва, [Б. и.], 1977, 1977.