Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов - Татаренков А. И. Алексей Иванович; Енишерлова К. Л. Кира Львовна; Русак Т. Ф. Татьяна Федоровна; Гриднев В. Н. Владимир Николаевич (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры Вып. 13)