|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
368944 |
| 005 |
20231102012132.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\26326
|
| 090 |
|
|
|a 368944
|
| 100 |
|
|
|a 20220425d1979 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов
|e лекции
|f Г. И. Котенко
|g Ленинградский институт авиационного приборостроения
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Изд-во Ленинградского электротехнического института
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 60 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 58
|
| 606 |
1 |
|
|a Тонкопленочная технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\60919
|9 78140
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные гибридные интегральные микросхемысхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a лекции
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772(075.8)
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Котенко
|b Г. И.
|g Георгий Иванович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Ленинградский институт авиационного приборостроения
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\5782
|9 24122
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220425
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
